山東省棗莊市電子廠房空氣潔凈度檢測(cè)方法--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個(gè)較大值：保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。

　1、電子制造廠萬級(jí)潔凈室噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)過65dB(A)。2、電子制造廠潔凈室滿布比垂直流潔凈室不宜低于60，水平單向流潔凈室不宜低于40，否則會(huì)偏單向流。3、潔凈室與電子制造廠房外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，潔凈區(qū)與不同空氣潔凈度的非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于或大于5Pa。4、電子制造業(yè)萬級(jí)潔凈室新風(fēng)量取下列兩項(xiàng)中較大值：(1)補(bǔ)償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風(fēng)量和新風(fēng)量之和。(2)潔凈室每人每小時(shí)新風(fēng)量不應(yīng)少于40立方米。(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)有新風(fēng)和溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。如果采用點(diǎn)加濕方式，則無需設(shè)置水保護(hù)。在寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護(hù)措施。

電子廠房空氣潔凈度檢測(cè)  2.溫濕度需求：溫度通常為24 2 度 ，相對(duì)濕度為55 5%； 3.送風(fēng)量大。為了滿意無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級(jí)，送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量（換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級(jí)，送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。每個(gè)行業(yè)對(duì)于潔凈室的要求都不同，良好的車間環(huán)境對(duì)于東西的生產(chǎn)及員工的健康都起著特別大的作用。

　生物安全實(shí)驗(yàn)室：國(guó)制定了相關(guān)的安全規(guī)程，潔凈室檢測(cè)工程凈化設(shè)備采用生物安全隔離服和獨(dú)立供氧系統(tǒng)。廢液、廢氣統(tǒng)一凈化通過嚴(yán)密性試驗(yàn)之后處理，采用密閉隔離器、負(fù)壓二次屏障系統(tǒng)，保證人身安全，并制定良好的生物安全實(shí)驗(yàn)室凈化管理規(guī)定。

回風(fēng)口風(fēng)速（米/秒）： 1.無塵室回風(fēng)口不2； 2.過道內(nèi)回風(fēng)口不4。  若潔凈室（區(qū)）運(yùn)行中已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求時(shí)，的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間，可與單位洽商已安裝過濾器泄露、氣流流型目測(cè)、照度，所有潔凈度等級(jí)，建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔24月、溫度、相對(duì)濕度，所有潔凈度等級(jí)，建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔12月、自凈時(shí)間、密閉性，建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔＞24月、噪聲，建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔＞12月

電子廠房空氣潔凈度檢測(cè)  由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。檢測(cè)可根據(jù)電子廠房潔凈標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的監(jiān)測(cè)，為廠房的順利交付、生產(chǎn)工藝的改進(jìn)及產(chǎn)品的提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

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