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煙臺市電子廠環(huán)境潔凈度檢測部門-天津中達(dá)檢測濟(jì)南分公司
煙臺市電子廠環(huán)境潔凈度檢測部門--天津中達(dá)檢測濟(jì)南分公司 十萬級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個;萬級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個,直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個;
目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時,還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時,基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6-9級時,基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象,對于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
電子廠環(huán)境潔凈度檢測 對于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時換氣5次以上;人均每小時新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
對于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時換氣5次以上;人均每小時新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
回風(fēng)口風(fēng)速(米/秒): 1.無塵室回風(fēng)口不2; 2.過道內(nèi)回風(fēng)口不4。 10萬級室內(nèi)空氣參數(shù)需求: 1.新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*值:非單向流潔凈室送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅(jiān)持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。
電子廠環(huán)境潔凈度檢測 回風(fēng)口風(fēng)速(米/秒): 1.無塵室回風(fēng)口不2; 2.過道內(nèi)回風(fēng)口不4。
對于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時換氣5次以上;人均每小時新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
天津中達(dá)檢測有限公司濟(jì)南分公司主要服務(wù)項(xiàng)目:(snjjhjjc)十萬級無塵車間;凈化車間;潔凈車間;潔凈廠房;無菌車間;GMP車間;凈化工程;實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)工程;醫(yī)療實(shí)驗(yàn)室;檢測實(shí)驗(yàn)室;醫(yī)院實(shí)驗(yàn)室;廠房實(shí)驗(yàn)室;實(shí)驗(yàn)室氣路工程;實(shí)驗(yàn)室給水排水工程。