山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應商

價格
電議

型號
KTGMF

品牌
威海坤科流量儀表股份有限公司

所在地
威海市

更新時間
2020-08-25 17:55:03

瀏覽次數(shù)

    山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應商( 宋)質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣

    山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應商

    工作原理

    氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。


    安徽熱式氣體質(zhì)量控制器供應商

    開機操作檢查各設備連接處應無泄漏現(xiàn)象,,氣源的溫度和壓力應穩(wěn)定,按照產(chǎn)品說明電路連接正確之后通電。

    與流量顯示儀連接

    開機操作之后,先將流量顯示儀的閥開關置到“關閉”位,將設定值調(diào)到零,再開氣,待零點穩(wěn)定后,再轉到“閥控”位,然后設定值調(diào)到需要的流量值,則實際流量值會跟隨設定值而變化。

    與計算機連接

    開機操作之后,通過RS485與計算機通訊,之后在計算機上將設定值調(diào)到零,再開氣,待零點穩(wěn)定后,再通過計算機將設定值調(diào)到需要的流量值,則實際流量值會跟隨設定值而變化。

    關機操作

    先斷氣,再將設定值調(diào)到零,然后斷電。



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