晶片清洗系統(tǒng) 晶圓清潔機(jī)出售 -世紀(jì)遠(yuǎn)景

價(jià)格
¥9,700.00

型號(hào)
ADT 977

品牌
ADT

所在地
暫無

更新時(shí)間
2023-02-25 07:16:01

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    “ADT晶圓劃片清洗機(jī)WCS-977”參數(shù)說明

    主要功能:用于晶圓劃片后芯片表面殘留物的清洗,避免表面沾污、微粒影響后繼封裝工藝。

    應(yīng)用領(lǐng)域:芯片切割,該設(shè)備為劃片工藝后之晶圓連同繃框置于旋轉(zhuǎn)的吸盤上面,藉真空吸盤吸住晶圓。 吸盤下方為變頻馬達(dá)用于清洗、吹干及旋干時(shí)之轉(zhuǎn)動(dòng)。 利用步進(jìn)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)二流體噴嘴及噴氣嘴,借以噴灑清洗劑及清除切屑、雜質(zhì)及吹干水份。

    PWRJ2)0(QJA[1BWJXP}MIVF

    晶片旋轉(zhuǎn)涂膠技術(shù)
    *切割過程晶片表面完全保護(hù)
    **去除污染和殘留物質(zhì)
    *霧化清洗和N2吹干
    . 緊湊設(shè)計(jì)
    . 霧化或高壓清洗
    . 容易使用- 一鍵啟動(dòng)和自動(dòng)關(guān)蓋
    . 直觀的操作面板
    . 通過狀態(tài)指示燈和警報(bào)器進(jìn)行過程監(jiān)控
    . 燈塔和蜂鳴器
    . 符合苛刻的安全標(biāo)準(zhǔn)
    . 環(huán)境友好
    規(guī)格:
    977- 200 977L - 300
    *產(chǎn)品尺寸 ? 200 mm ? 300 mm
    清洗方式 霧化清洗/
    高壓清洗 霧化清洗/
    高壓清洗
    可存儲(chǔ)菜單數(shù)量 8 8
    工作平臺(tái)轉(zhuǎn)速范圍 200–3000 rpm 200–2500 rpm
    設(shè)備尺寸 (WxDxH) 410 x 625 x 950 mm 520 x 809 x 950 mm
    機(jī)器重量 100 kg 160 kg
    特性:
    ? 霧化清洗
    ? 自動(dòng)關(guān)蓋
    ? 直觀的控制面板
    ? 過程監(jiān)控
    ? 緊湊的設(shè)計(jì)
    ? 堅(jiān)固,無振動(dòng)
    ? 環(huán)境友好
    ? 可選項(xiàng):
    * 內(nèi)置排風(fēng)
    * CO2 注入
    * 客制工作卡盤
    * 清潔添加劑


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