MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測

價格
電議

型號
MDPinline

品牌

所在地
暫無

更新時間
2023-06-07 08:57:02

瀏覽次數(shù)

    MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內(nèi),就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。

    優(yōu)勢介紹:一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試,在不到一秒內(nèi)就能形成單個硅片的二維圖像。

    該儀器本身不使用機(jī)械運動部件,因此在連續(xù)操作下也非??煽俊K鼮槊總€晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑,而這些都是迄今為止無可比擬的。例如,在不到3個小時的時間內(nèi),對10000個晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動統(tǒng)計評估,結(jié)果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。

    實時的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chǎn)過程中,MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障,從而使產(chǎn)品達(dá)到的性能。

    MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測

    優(yōu)勢介紹

    ◆ 在不到一秒的時間內(nèi),可對一個晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數(shù):載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

    ◆在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

    ◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量,以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題,例如在光伏行業(yè)。

    ◆適用于擴(kuò)散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

    技術(shù)參數(shù)

    樣品厚度

    100 μm up to 1 mm

    樣品尺寸

    在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18”

    電阻率

    0.2 - 103 Ohm cm

    傳導(dǎo)類型

    p, n

    材質(zhì)

    硅晶圓,部分或完全加工的晶圓片,復(fù)合半導(dǎo)體等

    測量性能

    少數(shù)載流子壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的)

    測量位置

    默認(rèn)2.8 mm, 其它可選

    檢測時間

    獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒

    尺寸

    400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg

    電源

    24 V DC, 4 A

    其它細(xì)節(jié)

    · 允許單片控制

    · 參數(shù)自動設(shè)置,預(yù)定義的排序菜單

    · 多達(dá)15個質(zhì)量等級的晶圓片自動分揀

    · 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

    · 快速提升工藝和生產(chǎn)線



    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
    溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

    其他推薦產(chǎn)品

    臺式PIDPotential Induced Degradation
    臺式PIDPotenti
    ¥1.00
    MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀
    MDPpro 晶圓片晶錠
    ¥1.00
    多量程X射線納米CT系統(tǒng)2214
    多量程X射線納米CT系統(tǒng)
    ¥1.00
    PDF-2 2020衍射數(shù)據(jù)庫卡片PDF卡片
    PDF-2 2020衍射
    電議
    MDPmap 晶圓片壽命檢測儀
    MDPmap 晶圓片壽命
    電議
    MDPlinescan 在線晶圓片晶錠點掃或面掃檢測
    MDPlinescan
    電議
    MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測
    MDPinline是一種
    電議
    您是不是在找:
    PH酸度計電導(dǎo)率儀溶氧儀滴定儀離子測定儀濁度儀極譜儀電解儀濃度計鈉度計庫侖儀ORP測定儀電泳儀腐蝕測試儀卡氏水分測定儀電化學(xué)工作站電化學(xué)配件其它

    首頁| 關(guān)于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務(wù)| 會員服務(wù)| 付款方式| 意見反饋| 法律聲明| 服務(wù)條款