MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀

價格
電議

型號
Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

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所在地
暫無

更新時間
2023-06-02 23:22:03

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    Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

    應(yīng)用范圍:用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量


    Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifeti

    根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導(dǎo)性、電阻率和p/n檢查。
    晶圓切割,爐內(nèi)監(jiān)控,材料優(yōu)化等。
    Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifeti
    日常壽命測量,質(zhì)量控制和檢驗

    ◆產(chǎn)量:>240塊/天或>720片/天
    ◆測量速度:對于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠,<4分鐘
    ◆生產(chǎn)改善:1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠
    ◆質(zhì)量控制:用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控,如單晶硅或多晶硅
    ◆污染測定:起源于爐和設(shè)備的金屬(Fe)
    ◆可靠性:模塊化和堅固耐用的工業(yè)儀器,更高的可靠性和運(yùn)行時間> 99%
    ◆可重復(fù)性:> 99.5%
    ◆電阻率:不需要經(jīng)常校準(zhǔn)

    精密材料研發(fā)

    鐵濃度測定

    Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifeti


    陷阱濃度測定

    硼氧測定

    依賴于注入的測量等

    特性


    完全無觸點(diǎn)無破壞的半導(dǎo)體特性
    特殊的“表面之下”壽命測量技術(shù)
    不可見缺陷的 靈敏度的可視化
    自動切割標(biāo)準(zhǔn)定義
    空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測


    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
    溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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