MDPmap 晶圓片壽命檢測(cè)儀

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MDPmap 晶圓片壽命檢測(cè)儀

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2023-06-07 08:46:02

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    Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

    應(yīng)用范圍用于精密材料研發(fā)的單晶和多晶片的壽命測(cè)量

     

    MDPmap 晶圓片壽命檢測(cè)儀 

     

    特性

    靈敏度:外延片不可見(jiàn)的缺陷和檢測(cè)的 靈敏度的可視化
    測(cè)量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘
    使用壽命: 20納秒到幾毫秒
    污染測(cè)定:源自爐和設(shè)備的金屬(Fe)污染
    測(cè)量能力:從初始切割的晶圓片到完全加工的樣品
    靈活性:固定測(cè)量頭允許外部激光與觸發(fā)器耦合
    可靠性: 模塊化和緊湊的臺(tái)式儀器,更高的可靠性和正常運(yùn)行時(shí)間> 99%
    重現(xiàn)性: > 99.5%
    電阻率:不需要頻繁校準(zhǔn)

    用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活檢測(cè)工具

       MDPmap是一個(gè)緊湊的臺(tái)式無(wú)觸點(diǎn)電子特性的離線(xiàn)生產(chǎn)控制或研發(fā)的工具??蓽y(cè)量參數(shù)如載流子壽命、光電導(dǎo)性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵(lì)磁(μ-PCD)。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置可以方便地適應(yīng)各種不同的樣品,包括在不同的制備階段,從生長(zhǎng)的晶圓片到高達(dá)95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。。 
       MDPmap的主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性,它允許集成多4個(gè)激光器,用于從低注入到高注入的依賴(lài)于注入水平的壽命測(cè)量,或者使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。包括偏置光設(shè)施以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項(xiàng)??梢允褂貌煌膱D進(jìn)行客戶(hù)定義的計(jì)算,也可以導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步的評(píng)估。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量任務(wù),可用一個(gè)預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn),使常規(guī)測(cè)量只需按一個(gè)按鈕。 

     

    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
    溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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